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浮游菌和沉降菌濃度
浮游菌濃度是指經(jīng)過對已采樣的培養(yǎng)皿或培養(yǎng)基條培養(yǎng)后得出的菌落數(shù)，代表單位體積空氣中的活菌數(shù)，以個/m3表示。沒有采到的或者沒有存活的細菌并未計人。
每一個菌落代表一個活細菌繁殖成的一個菌團，用英文縮寫符號表示就是lcfu。

 沉降菌濃度是指對經(jīng)過一定時間(如30min)沉積到培養(yǎng)皿上的細菌培養(yǎng)后生成的菌落數(shù)，一個菌落就是一個細菌繁殖成的菌團，即1cfu。
菌濃參數(shù)主要在生物潔凈室使用。但細菌不僅對生物潔凈室而且也對半導體一類工業(yè)潔凈室有重要影響。
不同的生物潔凈室要求的菌濃標準是不同的。過去國內(nèi)外標準多用浮游菌濃度來表達。
1968年，兩位美國學者(Blwer和Wallace)觀察到空氣中含菌量為20~50個/ft3(707~1767個/m3)時，污染微粒的總病菌數(shù)中金黃色葡萄球菌(具有代表性的致病菌)比例可達到5%，此時極易引起敗血癥，美國傳染病中心的研究也證實了上述結(jié)果。
世界衛(wèi)生組織(WHO)推薦的醫(yī)院浮游菌濃度標準見表5-18。

 這里要特別指出的是，浮游菌濃度和沉降菌濃度一定不要互相換算，雖然理論上可以這樣做，但實際上會帶來一些麻煩，這在作者的<<空氣潔凈技術(shù)原理>>、<<醫(yī)院潔凈手術(shù)室建設(shè)實施指南>>中都有論述。合適的做法是用各自的標準來衡量。有害的微生物不僅對人有害，而且對工業(yè)制品也有很大的影響。對電子電氣儀器和制品，在線路板底板的樹脂與導體表面生長的霉菌菌絲會降低絕緣性能。有害微生物還會腐蝕聚氯乙烯(PVC)的包覆電線、發(fā)電機線圈、電容器等，會使環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰胺樹脂老化。在光學鏡頭上生長的灰綠曲霉菌會使玻璃受到腐蝕。細菌、霉菌能在化妝品中繁殖，對皮膚不利。黏結(jié)劑里也能生長霉菌，大大影響?zhàn)そY(jié)性能。
如果以集成電路為例，微生物的影響明顯表現(xiàn)在以下幾方面。
1.異物影響
當微生物以幾到數(shù)百微米存在于硅片表面時，影響如圖5-11所示。在n型片上有一層SiO2膜，通過帶有一定圖形的光刻膠膜，使用光刻板把SiO2膜一部分用干式腐蝕法腐蝕掉。在干式腐蝕工藝之前，如微生物像圖5-11(a)所示那樣，在SiO2膜表面某部分繁殖起來，則這一部分就起到了干式腐蝕時的掩膜版作用，留下其下的SiO2[見圖5-11(b)]。下道工序在掩膜版圖形區(qū)內(nèi)用離子注人法進行硼擴散時，如圖5-11(c)所示，在原有微生物處就不能形成p型區(qū)，還會使接觸式光刻機接觸不良，這就是異物導致產(chǎn)品質(zhì)量不良的原因。