
潔凈室標準和級別概況
1961年誕生了世界上最早的潔凈室標準即美國空軍技術條令203,并把編制聯(lián)邦政府標準的任務交給了原子能委員會的出版機構。1963年底頒發(fā)了潔凈室第一個軍用部分的聯(lián)邦標準即FS209(按:美國國家標準為ANSI)。從此,美國聯(lián)邦標準209即成為國際上最通行、最著名的潔凈室標準。如果說當時通過對各類生產(chǎn)環(huán)境潔凈度進行大量調研后得到的認識--潔凈室內(nèi)塵粒分布規(guī)律基本上接近對數(shù)正態(tài)分布,從而提出了這一分布的平行線關系,是標準203的重要基石,那么美國的威利斯·華德弗爾德提出的關于潔凈室的層流概念(這不是流體力學上的同一概念)則是標準209的理論基石,也是后來各種潔凈室標準的基礎。
1966年頒布了修訂后的209A,1973年又頒布了修訂的209B,并于1976年再次頒行了209B修正案1。
在這一段時期里,許多國家也相繼制定了潔凈室的標準,其內(nèi)容特別是潔凈度分級基本參照美國標準。
但是,由于濫用聯(lián)邦標準209B,加之原標準中一些概念不清,以及對所謂10級、1級潔凈度的需要,促使美國修改209B。這一工作首先由IES(美國環(huán)境科學協(xié)會)發(fā)起,經(jīng)GSA(美國總務管理局)認可和授權,成立了RP-50委員會,包括來自政府、微電子公司、儀器制造廠的人員,潔凈室顧問、潔凈室用戶及潔凈室測試人員,終于在1987年10月27日頒發(fā)了FS209C。209C又于1988年6月15日被新的209D所取代,209D又于1992年3月11日被209E取代,見表1-2。
1999年,國際標準化組織制定的國際標準IS014644一1《空氣潔凈度等級劃分》頒布。
ISO標準的潔凈度等級和209E的潔凈度等級差異如下。